攻克微振动计量溯源难题 福建省团队取得关键技术突破

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摘
要福建省计量院微g级振动加速度量值溯源项目通过验收，攻克关键填补了该领域溯源能力空白。微振该项目突破了关键技术瓶颈，动计为航空航天、量溯半导体等产业的源难高精度微振动测量提供了技术支撑。

东南网8月27日讯 （福建日报记者 黄筱菁）近日，题福团队突破由福建省计量院承担的建省技术福建省市场监管局重点科技计划项目《微g级振动加速度量值溯源和计量标准的研究》顺利通过专家组验收，标志着我省在微振动计量领域取得关键技术突破。攻克关键

高精度微振动传感器，微振凭借超高加速度灵敏度、动计超高测量分辨率、量溯超低本底噪声、源难优越的题福团队突破抗射频和电磁干扰性能，广泛应用于航空航天、建省技术半导体工业、攻克关键地震监测、超精密测量与超微细加工等领域的微振动控制和测试中。随着高端装备与精密探测技术的快速发展，各行业对微振动的测试和控制提出微g甚至纳g级别的要求，但长期以来，微g级振动加速度难以实现精准量值溯源，成为制约高分辨率微振动传感器国产化和微振动精密测量技术发展的关键瓶颈之一。

对此，福建省计量院组织振动计量科研团队，开展了微加速度激励、微加速度测量和隔振等关键技术研究。研制出一套“微g级振动加速度标准装置”，包括电磁式微加速度发生装置、激光干涉法微加速度测量系统和空气弹簧隔振装置，实现了在2Hz~200Hz频率范围、5μg~50mg加速度幅值范围内，对高灵敏度微振动传感器的绝对校准和比较法校准，为高精度微振动传感器的动态校准提供溯源方法与技术支撑。

据介绍，该项目填补了振动计量领域微g级加速度溯源能力的空白。同时，项目形成的成熟技术路线，也为后续新一代微振动计量标准，提供了可落地、可借鉴的技术方案，并为航空航天、半导体、高端装备等战略性产业的高质量发展筑牢计量技术根基。